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장비 및 시설 기본정보
엠에이 6 (MA6 Ⅱ4인치전용)
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Suss Microtec |
| 모델명 | MA6 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2005-11-17 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C501 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | 과제명:혼합냉매 특성 측정 및 해석기술개발 주관기관명:한국과학기술연구원 연구책임자:김영일 과제번호:2N15690 특징 Clean Room에서 사용하는 MEMS Nano소자연구용 Lithography 장비임. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201712/20160922142200_200702075098 NFEC-2006-01-043553.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 L6 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2006-01-043553 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201903116990 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |