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장비 및 시설 기본정보
E-Beam 증착장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 한국진공 |
| 모델명 | KaRon-1B-1500 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2007-10-16 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 구미전자정보기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C504 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | null- Main process chamber module Size : 650 × 580 × 680(H) - Type : Vertical type Front door type with view port - Material : SUS304 Base pressure : 5 × 10-7 Torr(HV)산화물 및 유기 반도체 형성 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201509/.thumb/2015093016472547.png |
| 장비위치주소 | 경상북도 구미시 산동면 첨단기업1로 17 구미전자정보기술원 진흥관 6층 607 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2008-08-064877 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0009731 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |