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장비 및 시설 기본정보
프로브스테이션
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Cascade Microtech |
| 모델명 | L-350 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2008-04-20 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국세라믹기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C514 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | - 미세회로 및 부품의 전자기 특성시 필요한 probe station system - 측정시 다양한 전자 계측/전기장비(4991A 4294A power supply etc.)와 호환이 가능하다.------------------구성 및 성능------------------- L350 plat form Accessary: DC RF/MW microfluidics package정밀회로(마이크로급)로 구성된 소자 측정: L C R 하나의 시스템 Plat form 상에서 RF DC Electrical Microfluidics 등의 특성평가를 위한 total solution제공. On-wafer high-frequency and parametric test solutions and thin-film probe cards for production-level on-wafer testing. 여러 개의 시료를 loading할 수 있는 Fully Automatic Prober 한 장씩 측정하는 Semi Automatic Prober Manual Prober 측정을 위한 Cable Tips 등 제반 accessory로 구성.Probe Station 의 필요성 적용분야 (1) 필요성: i) 연구개발용 소재 공정 및 test 시제품(샘플)의 소형화 => 나노/마이크로 size 박막화 미세패턴 ii) On-board test 환경의 대두 => 모듈 칩 패키지화 (2) 적용분야: IT 용 소재 부품(기판/모듈/패키지)의 전기적 특성(LCR/DC/RF…) 평가 MEMS bio-chips microfluidics 평가 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201308/.thumb/20130816143755951.JPG |
| 장비위치주소 | 경상남도 진주시 소호로 101 (충무공동) 한국세라믹기술원 본관동 지하1층 B14 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2008-07-141259 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0009009 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |