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장비 및 시설 기본정보
실험실용연마기및연삭기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Leica |
| 모델명 | EM TIC 3X |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-01-04 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 경상대학교 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C105 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | Leica EM TIC 3X를 사용하면 전례 없는 편리한 방법으로 거의 모든 재료에서 고품질 단면을 얻어 변형이나 손상이 거의 없는 내부 구조를 볼 수 있습니다. 트리플 이온 빔 커터인 Leica EM TIC 3X를 사용하면 주사 전자 현미경 검사(SEM). 미세 구조 분석(EDS WDS Auger EBSD) AFM 조사에 사용할 연질 재료 경질 재료 다공성 재료 열에 민감한 재료 부서지기 쉬운 재료 이질적인 재료의 단면을 생성할 수 있습니다. 세 개의 이온 빔(따로따로 제어됨) 냉각 단계 다중 샘플 단계를 통해 샘플을 고속으로 밀링하고 넓고 깊게 절단하여 고품질 단면을 얻을 수 있습니다.1. Ion source 1) Number of Ion source : 3 independently controlled ion source 2) Gun voltage : 1kV to 6kv 3) Milling rate : 150um/h 4) Cutting area : Depth>1mm Width>4mm or more 5) Beam density : 10mA/Cm2 per source 6) Beam diameter : 1mm 7) Beam alignment : not required 8) Fixed angle of ion source : 50° 2. Vacuum system 1) Diaphragm pump with oil free(130L/min) 2) Turbomolecular drag pump(70L/s) 3) Pump is also equipped with an air cooling system 4) Ultra pressure : 1 × 10-5mbar(time less than 10min) 3. Process control computer system 1) Operation of the unit via a LCD touch-screen monitor 2) Gas inlet system : 3 Individually controlled 3) Control of motor vacuum system and high voltage 4) Ion source life time displayed : LCD touch panel display 5) Gas flow : <1 sccm more 4. Sample stage 1) Sample loading size : Max. 20mm(w) × 12mm(L) × 7mm(T) 2) Specimen movement range : X : ±5mm Y : ±1mm Z : 0 to 6mm 3) Contrast enhancement angle : at 90°(to the prepared surface) 4) Stage accuracy : ±2um 5. Stereo Microscope 1) Stereo zoom microscope : Max. magnification 100x 2) At the highest zoom magnification : One increment corresponds to ~ 25um 3) Illumination is an additional feature to provide a clear image : Ring LED illumination type- 고분자 금속 세라믹 소재 관련 연구자 - 재료공학 물리 화학분야 연구자 - 전자재료의 박막소자 관련 기업체 코팅 및 도금 기업 표면처리 기업 - 태양광 소자 등 신재생 에너지분야 소자 분석에 유리함 - 박막 등 전자재료와 미소접합 분야 분석에 적합 - 강도 및 인성의 문제 때문에 손상을 입기 쉬운 소재의 샘플제조에 유리하므로 다양한 활용이 가능 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201301/.thumb/em tic 3x.jpg |
| 장비위치주소 | 경남 진주시 진주대로 501 경상대학교 산학협력선도대학육성사업단 28동 7층 703호 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-01-174775 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0036742 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |