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장비 및 시설 기본정보
전계방출 주사전자현미경
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Jeol |
| 모델명 | JSM-7600F |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-01-19 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 서울대학교 산학협력단 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A206 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | A. JEOL사 JSM-7600F은 Schottky Type의 Gun을 채용한 방식임에도 불구하고 낮은 가속전압에서 고 분해능(1.5nm at 1kV)을 보증하고 있어 Weak한 Sample의 경우에도 Image 관찰 시 상당히 좋은 품질의 결과를 얻을 수 있으며 100V의 최저 전압까지 인가가 가능하고 최대 배율은 x1000000까지 지원된다. 이는 고 분해능을 요구하는 시편이나 낮은 가속전압을 필요로 하는 시편일 경우 상당히 유리하게 적용되는 항목이다. B. 1. JSM-7600F의 경우 Probe Current를 최대 200nA 까지 흘려줄 수 있어 High Quality Image를 관찰하면서 EDS(Energy Dispersive X-ray Spectrometer) 와 WDS(Wavelength Dispersive X-ray Spectrometer) CL(Cathodoluminescence Detector)등 여러 가지 원소분석 장비를 추가로 부착할 수 있다. C. 이미지 관찰 및 다양한 분석작업을 위해 Probe Current 조정이 필요하며 Large Probe Current를 사용하면 Beam Diameter가 커져 Resolution이 떨어지게 된다. JSM-7600F는 Aperture Angle Optimizing Lens를 채용하여 Large Probe Current에서도 매우 Sharp한 Small Probe Beam을 지원해 고 분해능의 이미지를 유지하면서 정확한 분석 작업을 가능하게 한다. D. 고 분해능의 관찰을 위해 투과 전자현미경(Transmission Electron Microscope TEM)에서 사용되는 Active Type Anti-vibration System이 내장되어 있어 고배율 고분해능 관찰이 요구되는 측정 시 설치 환경에 따른 외부의 요인으로부터 발생 가능한 시편 관찰의 애로사항을 최소화하여 JSM-7600F외 다른 장비에서 일반적으로 사용되는 Passive Type Anti-vibration System보다 장비의 안정성을 극대화하여 훨씬 더 좋은 품질의 Image를 보일 수 있다. E. Gentle Beam Technology가 채용되어 있어 낮은 가속전압(0.1KV ~ 4kV) 범위에서 Charging Effect가 쉽게 발생 가능한 부도체 시편이라 하더라도Charging Effect를 현저히 줄일 수 있어 좋은 품질의 이미지를 관찰할 수 있는 장점이 있다. F. 1%이하의 매우 안정적인 Electron Probe Current를 지원하여 장시간의 Image 관찰 및 EDS WDS CL등의 분석 작업 시 매우 안정적인 측정결과를 지원한다. G. Air-lock System을 통하여 Specimen Chamber 전체 개방으로 인한 외부 부유 물질의 유입으로 발생되는 Chamber내부에 존재하는 EDS WDS CL등의 Detector Contamination을 방지하고 매우 깨끗한 고 진공의 Chamber 환경을 지원한다. 또한 One Action으로 시편 교환이 가능하여 시편 교환 작업의 편이성이 좋다는 장점이 있다. H. FE-SEM은 일반적인 장비와 달리 고 성능의 기능을 발휘하기 때문에 주변환경과 공급업체의 원활한 Service가 필요하다고 생각되고 서울대학교 내 공과대학 및 기초과학공동기기원등에 상당히 많은 (JEOL System 80set TEM/SEM포함)System이 공급되어 운용되고 있어 학교적으로 볼 때도 원활한 Service를 받을 수 있어 이번에도 JEOL System을 구입하는 것이 좋다고 판단된다. I. 그리고 JEOL Korea와 JEOL Ltd.는 매년 Mini Workshop을 통해 고객에게 최신의 정보와 신 기술을 전달하고 있으며 기존의 공급 제품에 관해서도 항상 새로운 Version의 관련 기술을 지원해 주고 있다. 또한 매 3년마다 전국 규모의 JK Users meeting 행사를 통해 고객에게 최신의 정보를 제공 교류에 매진하고 있는 회사이다. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201107/.thumb/20110715105623.JPG |
| 장비위치주소 | 서울 관악구 대학동 서울대학교 산 56-1 서울대학교 39동 (대학원교육연구동) 4층 412 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-07-146255 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0029454 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |