나노임프린트 리소그래피 시스템
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | Jenoptik |
모델명 | HEX 04 |
장비사양 | |
취득일자 | 2008-08-04 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | C519 |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | ㅇ 원리 및 특징 고분자 재료를 유리전이온도 (Glass Transition Temperature)까지 가열 한 후 금형 (Mold 또는 Master)을 이용하여 일정한 압력을 가하여 고분 자 재료를 금형과 일치하는 마이크로미터 혹은 나노미터 단위의 극미세 패턴을 만드는 장치임. |
장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201109/20110905135703.jpg |
장비위치주소 | 한국생산기술연구원 호남권 지역본부 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2009-01-069243 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-kitech-00544 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |