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장비 및 시설 기본정보
금속막세정장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 에이치아이티 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2007-05-21 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 경북대학교 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C502 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 금속막의 세정 습식 식각 barh QDR로 구성 6인치 wafer 일괄공정 가능활용분야 웨이퍼 세정/습식식각 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201404/.thumb/2014040412142469.jpg |
| 장비위치주소 | 대구 북구 산격3동 경북대학교 1370 경북대학교 반도체연구동 지하1층 B107 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-10-008989 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0015430 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |