- HOME
- 홈페이지 이용안내
장비 및 시설 기본정보
비접촉 반사형 박막 두께 측정기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 케이맥(K-MAC) |
| 모델명 | ST5000 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2015-11-05 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국원자력연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | F202 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | - 투명 박막의 두께를 측정하는 시스템 - ST5000은 수동으로 wafer를 Loading하여 Transparent thin film의 두께를 비접촉, 비파괴 광학적 방법으로 측정하는 System입니다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201511/201511051625162.jpg |
| 장비위치주소 | 첨단방사선연구소 방사선기기연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-11-205851 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0059193 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |