| 시설장비 설명 |
XPert PRO Materials Research Diffractometer 는 다음과 같은 용도를 위한 X-ray 회절에 사용 가능한 가장 유연성 있는 시스템. -고급 재료 과학 및 나노 기술 -반도체 공정 개발에 있어 계측적 특성 규명 이 제품은 광범위한 응용분야를 처리할 수 있으며, 특히 아래와 같은 박막 분석 응용에 적합하다. -로킹 커브(rocking curve) 분석 및 역격자 공간 맵핑(reciprocal space mapping) -반사광 측정(refrectometry) 및 박막의 상 분석 -잔류 응력 및 구조 분석 -In-Plane을 위한 XPert PRO MRD 시스템을 사용하면, 시료 표면에 수직인 격자 평면으로부터의 회절을 측정 가능 -XPert PRO MRD는 X-ray mirror와 고해상도 단색화 장치(monochromator)를 일렬로 장착할 수 있어서, 입사 광선의 강도를 증대시킴. -XPert PRO MRD XL은 반도체, 박막, 고급 재료 분야의 모든 고해상도 XRD 분석 |
