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장비 및 시설 기본정보
접촉식 단자측정기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Bruker |
| 모델명 | Dektak XT |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2019-01-31 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 나노종합기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | F804 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | 반도체 FAB내에서 구조물 형성 시 구조물의 단차 및 거칠기 등을 평가하기 위해 사용되는 장비로 접촉식이며, LOCOS, STI 공정에서 주로 사용된다. 그 외 표면조도, 웨이브니스, 곡률 등 표면 형상을 볼 수 있음 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201905/20190529112519488.jpg |
| 장비위치주소 | 나노종합기술원 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2019-05-256017 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201908051205 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |