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장비 및 시설 기본정보
스타일러스 프로파일러
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Bruker |
| 모델명 | Dektak 150 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-09-22 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 이화여자대학교 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | F202 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | Stylus profiler는 반도체 공정을 통하여 제작된 소자의 표면 단차를 측정하는 장비로 ‘Dektak series’는 1968년 처음 개발된 이래 40여년의 세월 동안 끊임 없는 개선을 통하여 전세계적인 대표모델로 자리잡고 있다. ‘삼성 하이닉스 LG’ 등 국내기업을 포함한 세계 유수 반도체업체들이 Dektak series를 사용하고 있으며 국내외 연구소와 대학에서도 다양한 분야에 활용되어오고 있다. 본 연구진이 추구하는 나노구조의 양자물성 연구에서도 필수적 장비라고 할 수 있다.Dektak 150 Surface Profile Measuring System ; · Step Height Repeatability: Guaranteed 6 angstrom 1 sigma · Unique Linear Scan · Step Detection Feature · Scan Length Range: 50um to 55mm · Vertical Measurement Range: 524um maximum( 1mm maximum optional) · Stylus Replacement: Exclusive quick-change · Stylus Force: Programmable stylus force from 1-15mg · Sensor Technology: Exclusive LIS 3 sensor with linear variable differential transfomer(LVDT) with1Angstrom resolution. · Maxiumum Data Points: 120000 data points per scan · CCD Camera : Color 160x magnification video (optical 100x to 640x zoom optional) · Analytical Software: 30 analytical funtion for calculating step height geometries roughness and waviness parameters · Environmental Enclosure scan area form air currents accoustic noise and contamination Computer for the D150: Dell OptiPlex 360 Desktop Chassis Intel 2.4 GHz processor Windows XP SP3 2.0GB Memory Integrated Video 160GB Hard Drive 48 x 32 CDRW/DVD Combo Latest Antivirus software |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201202/.thumb/20120221150508.JPG |
| 장비위치주소 | 서울 서대문구 대현동 이화여자대학교 11-1번지 이화여자대학교 종합과학관 A동 4층 418 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2012-02-154538 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0031105 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |