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장비 및 시설 기본정보
오버레이 측정기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Nanometrics |
| 모델명 | NanoOCS 7220 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-08-03 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국전자통신연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C517 |
| 표준분류명 | 생산 |
| 시설장비 설명 | 특징 적외선을 효과적으로 흡수하는 구조체를 제작하고 여러 개를 배열(어레이)한 다음에 거기에서 나오는 미세 신호 처리를 위해 신호처리 회로기술을 활용한 것으로 서브 마이크론 사이즈의 반도체 기술과 수십 마이크론 구조체를 쌓는 I-MEMS기술의 융합기술이다 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201101/20110124142902.jpg |
| 장비위치주소 | 한국전자통신연구원 4동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2009-08-072042 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-ETRI-00097 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |