| 시설장비 설명 |
특징 - 나노소재기술개발 Spintronics테라비트급나노소자 등 NT - 32943442RD와 같은 종류의 분석기기이지만 Cs 만이 아닌 Bi Cs C60 등의 이온을 사용하고 또한 초점 빔의 분해능이 높아 수 um 단위에서의 분석이 가능하다. - 본 장비는 이온들로 표면을 스퍼터링(sputerring)하는 동안 방출되어지는 양이온 혹은 음이온의 질량을 측정하여 재료의 표면을 구성하고 있는 원소 및 분자의 종류를 분석한다. - Dynamic SIMS에 비해 TOF-SIMS는 일차이온의 에너지 및 전류의 세기를 약하게 조절할 수 있어서 극표면 분석에 유리하며 수 초 이내에 표면에 존재하는 원소 및 분자의 신호를 얻을 수 있다. 주기율표내의 모든 원소 분석이 가능할 뿐만 아니라 유기물질 생화학물질 분자확인에 큰 장점을 가지는데 AES나 XPS로 측정 불가능한 H He를 포함 질량이 큰 분자의 분석 및 ppb 수준의 원소분석이 가능하다. 금속 재료 반도체 유기물 생체시료 등의 분석시료를 의뢰 받아 표면분석은 물론 깊이 방향의 성분분석 및 2D 이미지 맵핑까지 원내 원외 의뢰자에게 분석지원 한다. |
