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장비 및 시설 기본정보
메탈 스퍼터링 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 소로나 |
| 모델명 | SRN-120 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-09-04 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 울산과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | - 고진공 상태에서 플라즈마를 이용한 메탈 스퍼터링 하는 장비로 기판 상에 메탈전극이나 여러 가지 종류의 금속 박막을 다층으로 증착이 가능하고 두 가지 이상의 금속을 동시에 증착이 가능한 장비이다. 박막 형성에 필요한 기체를 반응실에 도입시킨 후 적절한 반응조건하에서 플라즈마를 발생시켜 타깃 물질의 물리적으로 떼어내어 기판에 박막을 형성하는 장치로 1개의 Process Module에서 증착이 이루어지고 또 다른 1개의 로드락 챔버를 통해 진공상태에서 기판을 이송할 수 있는 장치 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201209/20120927103036.jpg |
| 장비위치주소 | 108동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2012-09-171221 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-202003109876 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |