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장비 및 시설 기본정보
롤투롤 진공 증발 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 알파플러스 |
| 모델명 | AP-ECE150-CIGS |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2014-11-27 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국에너지기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C503 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 본 장비는 400mm 폭의SUS Foil(30㎛ or 50 ㎛) 및 PolyImide 표면에 롤투롤 공정으로 CIGS 박막을 증착하기 위해 설계되었다. CIGS Evaporation Roll to Roll System은 1식의 스테인레스로 만들어진 진공 챔버에 다수의 Evaporation Source를 위한 공정Unit, 펌핑Unit, 필름 핸들링 Unit 으로 구성되어 있다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201503/201503231192854.jpg |
| 장비위치주소 | 한국에너지기술연구원 제4연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-03-200355 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-KIER-00031 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |