| 보유기관명 |
서울대학교 |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
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| 표준분류명 |
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| 시설장비 설명 |
고주파 측정용 탐침 제어 시스템 마이크로미터 단위의 매우 정밀한 움직임을 가지는 시료에 직접 접촉시키는 장비wafer/substrate size up to 6""/150 mm X-Y stage movement 150 mm x 150 mm DC probe head & micropositioner 2 ea vacuum base HF probe head & microwave positioner 2 ea bolt down or magnetic base coaxial probe cable stereo zoom microscope with > 200 x magnification웨이퍼 또는 작은 chip 의 전기적 특성 및 전압 전류 공급과 측정 이동통신부품소자 등 고주파용 전자 재료 및 반도체 웨이퍼의 전기적 특성연구에 이용 |
| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201309/.thumb/20130913112742974.jpg |
| 장비위치주소 |
대전 유성구 장동 171 한국기계연구원 연구6동 1층 109 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2007-04-020141 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0004025 |
| 첨부파일 |
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