| 시설장비 설명 |
유도결합플라즈마(ICP:Inductively Coupled Plasma )는 알곤가스(알곤가스:액체 알곤 또는 압축알곤가스로 순도 99.99%(V/V%)이상의 것)를 플라즈마 가스로 사용하여 수정발진식 고주파발생기로부터 발생된 주파수 27.13㎒영역에서 유도코일에 의하여 플라즈마를 발생시킨는 것을 말하죠. 대부분의 물질들은 네가지 상태 즉 고체 액체 기체 및 플라즈마 상태로 존재합니다. 이 모든 상태에서 원자들은 계속해서 운동하고 있습니다. 고체 상태 원자와 분자들은 고정점 주위에서 진동합니다. 액체 상태 분자의 진동이 충분히 증가하면 분자들은 흔들려 떨어지고 고정되지 않은 점 주위를 진동하면서 물질의 내부에서 이동하게 됩니다. 이 때 물질의 형태는 더 이상 고정되지 않고 그릇의 모양으로 바뀝니다. 기체 상태 만일 더 많은 에너지가 물질에 공급된다면 분자들은 더 큰 비율로 진동하게 되어 분자들은 서로 떨어져 나갑니다. 플라즈마 기체 상태의 물질을 더욱 가열하면 원자들은 각각 분리되어 플라즈마라고 부르는 자유전자와 이온핵으로 이루어진 상태가 됩니다. 플라즈마 상태는 일상 생활에서 쉽게 경험할 수 없는 상태라 할지라도 우주에서는 모든 물질의 정상적인 상태가 바로 플라즈마상태입니다. 태양과 다른 별들은 은하계 내부의 물질과 같이 플라즈마상태에 있습니다. |
