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장비 및 시설 기본정보
플라즈마 화학기상 증착기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 큐로스(Quros) |
| 모델명 | Plus 200 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2008-07-28 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C507 |
| 표준분류명 | 계측 |
| 시설장비 설명 | ○ 진공 중에서 연속적으로 화학기상 박막을 증착 - Transfer Module(Backbone System), 플라즈마를 이용하여 박막을 증착 할 수 있는 Process Module(#1,2,3)과 Sputter Module(#4) 구성 - a-Si 계 Solar Cell 소자 제작 시 필수적인 a-Si과 Micro-crystal a-Si 박막을 증착 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201501/20150115104247178.jpg |
| 장비위치주소 | 한국생산기술연구원 나노기술집적센터 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-01-195824 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-kitech-00750 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |