| 시설장비 설명 |
특징 ZrC TRISO 입자 제조를 위한 코팅기 구성 및 성능 ZrC TRISO 입자 제조를 위한 온도 및 압력, 유량조절가능 ZrCl4 승화에 따른 압력조절이 가능하고 유량조절에 따른 일정량의 ZrCl4가 주입됨. 주요사양 -Reactor size: 850DX1400H, Double wall water cooling -Vacuum pumping system: Rotary pump 1200L/min, TC vacuum gauge -Working temp: nor 2000C, max 2200C -Working zone: 240DX800H -Extra high purity graphite heater/felt/protection lining/nozzle -Temp. sensing: Pyrometer & C type thermocouple 2 set -Gas pressure: MFC 4 channel control & automatic throttle valve control -Power: 3상 110kW 이상 -Nozzle ejector system Graphite ware: crucible mount/lining/nozzle/pipe Sample loading & catching unit/sample floating용 gas ejector system 1set 흑연저항가열체를 이용한 기상증착장치로서 chamber형태의 furnace가 있고, 특별히 nozzle을 사용하여 sample을 floating한 상태에서 CVD가 되므로 sample에 균일한 coating을 할 수 있다. 활용분야 ZrC TRISO 입자 제조용 코팅기 |
