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장비 및 시설 기본정보
300kV급 이온주입장치 빔 조사 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 인터테크 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2005-12-28 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국원자력연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | 300keV ion implanter has been designed and manufactured for studies of surface modification by ion beam. The purpose of design is domestic development of the basic technology for the high energy ion implanter. This project was sponsored by ARTI (Advanced Radiation Technology Institute). The main request of design is production acceleration and transportation of high nitrogen ion beam current up to 5mA and ion energy up to 300keV and beam size on target up to 15cm x 15cm. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201310/201310211621545.jpg |
| 장비위치주소 | 한국원자력연구원 본관동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2006-08-044963 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0007007 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |