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장비 및 시설 기본정보
원자층 증착 장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 대기하이텍 |
| 모델명 | DKVAC200 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-03-23 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C509 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 원자층 증착 장비 (ALD system)는 박막 공정에서 두께가 균일하고 막질이 매우 우수할 뿐만 아니라 막의 두께를 원자 단위로 조절이 가능하여 물리/화학적 특성을 원자단위에서 제어할 수 있다는 장점을 가진 박막 증착 장비이다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201108/20110801134137.JPG |
| 장비위치주소 | 한국과학기술원 응용공학동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-08-146871 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0029573 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |