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6인치 나노 임프린트 리소그래피 시스템

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보유기관명	인하대학교
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C519
표준분류명
시설장비 설명	Obducat사의 나노 임프린트 리소그래피 시스템은 6인치 면적의 임프린트가 가능하며 thermal imprinting UV imprinting이 모두 가능한 장비이다. Obducat사의 장비는 soft press 방식으로 imprint를 수행하며 이 방식은 스탬프와 기판 위에 플라스틱 혹은 금속 필름이 덧씌워 진 상태에서 압축공기를 가하여 부드러운 필름에 압력을 가해 스탬프와 기판 전 영역에 필름을 통해 균일한 압력을 가하는 방식 이기 때문에 압력의 균일성이 매우 좋은 장점을 가지고 있다. 따라서 20nm이하의 residual layer두께를 보장하며 옵션으로 water cooling 유닛과 integrated optical alignment system이 장착되어 있다.
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201102/.thumb/20110217160408.JPG
장비위치주소	인천 남구 용현1,4동 인하대학교 253 인하대학교 2호관 2층 E247
NFEC 등록번호	NFEC-2011-02-142719
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0027811
첨부파일

기업조회