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장비 및 시설 기본정보
전자빔 증착기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 브이티에스 |
| 모델명 | Daon-1000E |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-02-27 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C504 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 필라멘트에서 방출되는 전자로 시료를 녹여 반도체 기판위에 물질을 증착하는 장비로서 고 진공상에서 작동한다. 따라서 보통 로타리 펌프와 터보펌프도 동반시켜 작동시킨다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201110/20111025163239.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술원 기초과학동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2009-11-075993 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0015186 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |