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장비 및 시설 기본정보
공구현미경
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Olympus |
| 모델명 | STM6-LM |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2007-07-23 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 충남테크노파크 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A203 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 - Technology with traceability - the road to high precision - Motorized auto focusing as std. for fast high precision measurement of large samples - versatile calculation functions in a powerful analysis software Consist of: 1. 3 Axis large stand with 0.1um X Y Z counter 2. 250x150mm Measuring Stage(X:3+5L/250 Y:3+5L/150 um) 3. Long working distance stain-free M plan semi Apochromat BD objectives(BF DF Differential Interference Contrast method) - 5x(NA0.15 WD12.0) - 10x(NA0.30 WD6.5) - 20x(NA0.40 WD12.0) - 50x (NA0.50 WD10.6) - 100x(NA0.80 WD3.3) 4. External Light source - White&Green LED (transmitted reflected) 5. Motorized Revolving nosepiece(5hole) and emergency stop power box 6. Focus navigator unit and DIC unit(DIC prism analyzer polarizer) 7. Etc.구성및성능 초정밀가공 공구 측정 및 검사활용분야 X/Y/Z축으로 리니어 스케일이 장착된 3차원 측정 공구현미경장비로서 저 배율에서 고배율의 형상관찰은 물론 각종 3축 측정이 가능합니다. 내 장된 리니어 스케일과 CCD를 이용하여 아베의 error를 최소한으로 억제하면서 미소한 높이 차나 미세한 패턴측정을 sub micron의 분해능으로 실 현하는 장비로 작은 시료에서 대형 시료에 까지 대응가능하며 금속재료분야는 물론 전기전자의 미세부품 정밀 기계부품분야에까지 사용되어지 는 3차원 측정 장비. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201102/.thumb/20110218204811.jpg |
| 장비위치주소 | 충남 아산시 음봉면 동암리 33-1 디스플레이센터 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2008-09-068006 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0011045 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |