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장비 및 시설 기본정보
습식세정장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 두리텍 |
| 모델명 | Wet Station |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2008-12-19 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국기계연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C502 |
| 표준분류명 | 생산 |
| 시설장비 설명 | 상기 장비는 마이크로-나노 기초 실험을 위한 세정 및 화학물 처리를 위한 Wet station 장비로 클린룸 이용자 모두가 세정 및 화학처리를 위해서 사용하는 공동 시설로 사용빈도가 빈번한 필수 장비임. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201310/20131021145742683.jpg |
| 장비위치주소 | 한국기계연구원 메카트로닉스연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-10-183641 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0053913 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |