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장비 및 시설 기본정보
16B 4Way 양면래핑장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 트리플에스 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2012-12-26 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C105 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | - 주물구조를 가지고 있으며 하정반과 상정반의 속도 및 압력 조절을 통한 사파이어 웨이퍼의 양면 랩핑을 진행할 수 있는 특징이 있음 - 양면랩핑기를 이용하여 웨이퍼 표면 가공시 후공정에서 공정 효율성을 높힐 수 있음 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201301/20130131173044756.jpg |
| 장비위치주소 | 정형가공연구그룹 실험동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-02-175876 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0037297 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |