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규소(Si) 미량원소 분석용 세정시스템

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보유기관명	한국표준과학연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	B0
표준분류명
시설장비 설명	규소(Si)분석을 위한 시료 전처리용 기구의 플루오르화수소산(불산;HF)세정수행 및 취급환경 제공 -표준 물질 개발 및 국제비교 수행을 위한 수시 사용과 오염 관리의 필요성으로 인해 자체 구축이 필수적인 장비임 - 규소(Si) 분석용으로 세정 약품 접촉면에 규소를 포함한 소재 배제 - 산 세정으로 인한 부식 방지를 위한 산 접촉 가능 부위 금속소재 배제 - 세정 작업 중 발생 증기가 작업자 방향으로 확산되지 않도록 설계 - 세정용 플루오르화 수소산(HF)의 인체 노출 방지 설계 - PFA heater 내장으로 내산성 확보 - 세정액의 온도 최대 80 °C 가능, 1 시간 이내 60 °C 도달 - 세정액 부족 시 heater 자동 정지 - 온도와 시간 설정 가능
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201601/20160114143118132.jpg
장비위치주소	한국표준과학연구원 인증표준물질(CRM)동
NFEC 등록번호	NFEC-2016-01-207538
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0059741
첨부파일

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