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장비 및 시설 기본정보
화학증착용액상원료공급장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 아이작리서치 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2015-12-24 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국표준과학연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | F500 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 혼합물전구체특성평가:liquid상태를vaporizer를시켜서증착시키는장치 -반도체용 전구체 생산업체 지원 및 협력 연구 -현재 반도체용 전구체 전달 방식은 기존의 버블러 방식에서 용액상 공급(Liquiddeliverysystem)으로 변경 되어 본 장비가 필수적임 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201601/2016011511653529.jpg |
| 장비위치주소 | 한국표준과학연구원 기술지원동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2016-02-207605 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0060547 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |