액체 NH3 대형 대용량용기
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | 이노메이트 |
모델명 | KOPTI BSGS |
장비사양 | |
취득일자 | 2008-09-26 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국광기술원 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | C611 |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | 액체 NH3 대형 대용량용기는 각 장비에 공급되는 NH3를 대용량으로 저장하여 공급하기위한 설비이다. 용량을 크게하여 자주 교체되는 횟수를 줄여 공정에 정확도를 기여함.3.1.1 시스템 사양 구 분 내 역 모델명 KOPTI BSGS Gas 공급 방식 Auto Change System 제어시스템 PLC : OMRON (CJ1G) 전원사양 AC220V 24A 50/60Hz 단상 사용환경 온도 : 5~35℃ 습도 : 0~80%(non-Condensing) 고도 : 2000이하 Class 100 Class1000에서 사용 유틸리티 배기 크기 : 4인치 소 음 70dB 이하 Safety / Environment Manual 3.1.2 시스템 특성 1) Option Interlock에 의한 안전차단 기능 적용 2) 난연성 특수도장 3) 안전강화 유리를 적용한 Access Window 4) 전자파 장애를 고려한 설계 5) 압력센서(PT)에 의한 압력의 Digital Display 및 가스압력 잔량검출 6) Weight Scale에 의한 중량의 Digital Display 및 잔량검출 실 중량 |
장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201102/.thumb/20110215133924.jpg |
장비위치주소 | 광주광역시 북구 첨단4길 5(월출동) 시험생산1동 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2011-02-141223 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0026728 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |