| 시설장비 설명 |
주사전자현미경 (scanning electron microscope)은 1938년 Von Ardenne에 의해 발명되었으며 1965년 영국에서 처음으로 상용화된 전자현미경이 만들어졌다. SEM은 TEM과는 달리 주로 시료의 표면(그림2 참고)을 관찰하는데 쓰입니다. SEM의 원리는 투과전자현미경과는 다소 다릅니다. 주사전자현미경은 전자가 표본을 통과하는 것이 아니라 초점이 잘 맞추어진 전자선 (electron beam)을 표본의 표면에 주사합니다. 주사된 전자선이 표본의 한 점에 집중되면 일차전자만 굴절되고 표면에서 발생된 이차전자는 검파기 (detector)에 의해 수집되어 그 결과 생긴 신호들이 여러 점으로부터 모여들어 음극선관 (cathod ray tube)에 상을 형성합니다. 주사전자현미경의 특징은 초점이 높은 심도를 이용해서 비교적 큰 표본을 입체적으로 관찰 할 수 있다는 것입니다. SEM은 전자beam을 시료 위에 주사시켜서 시료로부터 튀어나온 2차 전자를 모아서 검출한 후 여러 가지 복잡한 기계장치를 거친 후 CRT에 영상화시켜 관찰 할 수 있는 전자 현미경입니다. |
