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장비 및 시설 기본정보
주기적 화학 기상 증착 장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | (주)레인텍 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2017-01-24 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C500 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | ○ 2G급(370✕470mm2) 대면적 유연 OLED 면광원 보호를 위한 고밀도 무기 barrier박막 형성 가능 장비 ○ 열에 취약한 유기물 층을 보호용 액상전구체를 적용하여 유연 기판상에 저압/저온(10mtorr이하/90℃이하) 무기 barrier박막 형성 가능 장비 ○ Defect 혹은 Pin-hole이 없는 고밀도/저결함 무기 barrier 고속 박막 증착 가능한 conical형태 샤워 헤드 구조 적용 장비 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201702/2017020913531296.jpg |
| 장비위치주소 | 나노기술직접센터 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2017-02-236134 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201711160950 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |