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파면센서

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보유기관명	한국항공우주연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	A400
표준분류명	분석
시설장비 설명	특징 파면센서(WFS)는 위상차를 이용한 간섭계의 측정방법과 달리 센서 앞에 놓여 있는 micro lens array를 통과하는 빛의 꺾임 정도를 이용하여 WFE를 측정하므로 파면센서 자체가 지니고 있는 wavefront error를 제거시켜주는 calibration 작업이 필요하다. WFS와 collimator lens 자체가 가지고 있는 파면오차를 측정, 제거시키기 위해서는 WFS 앞, 광축 위치에 concave mirror를 놓고 WFS에서 측정된 데이터를 reference measurement로 저장한 뒤 DUT를 측정할 때마다 제거시켜주는 작업을 수행한다. 또한 광학계의 정렬시 focus, decenter, tilt 등의 정렬 작업이 WFS의 power, tilt, zernike term 등에 직접적으로 영향을 주므로 WFS 자체 광학계의 정렬상태에 의한 tilt 변화량도 DUT 측정 전에 calibration을 해줘야 한다
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201307/2013070813273959.jpg
장비위치주소	한국항공우주연구원 정밀대형위성시험동(대전본원)
NFEC 등록번호	NFEC-2010-09-084223
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0055913
첨부파일

기업조회