- HOME
- 홈페이지 이용안내
장비 및 시설 기본정보
박막 단차 측정기기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Kla-tencor |
| 모델명 | Tencor P-6 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-03-27 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 울산과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | F202 |
| 표준분류명 | 시험 |
| 시설장비 설명 | 실리콘 유리기판 또는 Metal 위에 박막을 얇은 두께로 증착하였을때 표면의 단차 및 거칠기를 측정하는 장비로 탐침(stylus)이 재료의 표면을 긁고(scan) 지나가면서 표면과 박막의 두께 차이를 측정하는 장비이다. |
| 장비이미지코드 | https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201209/20120927164356.jpg |
| 장비위치주소 | 울산과학기술대학교 자연과학관 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2012-09-171159 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | https://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201812172460 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |