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장비 및 시설 기본정보
습식세정장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 동훈테크 |
| 모델명 | 모델명없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-07-08 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 울산과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C502 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | Metal 및 Si wafer를 각종 Chemical을 이용하여 etching 할 수 있는 장치로써 Si dry etching 및 wet etching 이후의 Si 및 Substrate 표면의 유기물 및 박막등을 removal하는 장치. |
| 장비이미지코드 | https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201209/20120927141851.jpg |
| 장비위치주소 | 울산과학기술대학교 자연과학관 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-01-173983 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | https://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201812172463 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |