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장비 및 시설 기본정보
알에프디시 마그네트로 스퍼터 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 삼한진공개발 |
| 모델명 | SHSF24M-600L |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2007-09-28 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 박막 증착용 장비로 Ar gas를 사용하여 증착용 타겟의 표면에 플라즈마 형성후 타겟물질을 substrate에 sputtering 방식으로 depo하여 박막을 형성함. * 과제명 : 능수동형 산화물 반도체 투명전자소자 제작 기술 * 연구책임자 : 이상렬 * 과제수행년도 : 2007년 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201101/20110121132330.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 청정연구동(L6) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-01-135576 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0054744 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |