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장비 및 시설 기본정보
취성소재 나노패턴 가공기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | CSM Instruments |
| 모델명 | NST |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2014-04-07 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국기계연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C208 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | - 기존 식각장비로는 제작이 어려운 V형 원형 등의 형상 가공이 가능함 ？기존 장비들로 취성소재를 가공할 경우 소재가 깨져나가지만 본 장비 사용 시 연성가공이 가능함 ？타 장비는 가공 후 패턴 형상 관찰을 별도의 측정시스템에서 실시하여야 하지만 본 장비는 가공 후 본 장비 내에서 바로 확인이 가능하여 패턴 불량 유무 확인이 용이함액츄에이터 헤드 - 가공 하중 범위 : 0.1 to 100 mN - 가공 하중 분해능 : 5.0 μN 이하 - 최대 가공 길이 : 100 mm 이상 - 최대가공 속도 : 500 mm/min 이상 - 최대 가공 깊이 : 2000 μm - 가공 깊이 분해능 : 1.0 nm 이하 - 구동 방식 : Piezo 방식 - 가공 공구 : 구형 공구 (기본) - 수평 절삭력 : 측정 가능 - 최대 수평 절삭력 : 1 N - 수평 절삭력 분해능 : 10 μN 이하 나노 패턴 가공기 전용 플랫폼 - 구동 방식 : 가공 제어부에 의한 X Y Z 축 방향 완전 자동 방식 - 별도의 자동 이송 장치 장착 가능하여야 함 - 나노 패턴 가공기 및 정확한 위치 제어를 위한 전용 광학 현미경 장착 가능 - 자동 Z 축 이송 장치 : 최대 이송 거리 : 30 mm 정밀도: 10 nm 이하 - 플랫폼과 연결된 무 진동 테이블 및 무소음 에어 컴프레서 PC System 및 나노 패턴 가공 전용 소프트웨어 - 나노패턴 가공기 구동 및 제어를 위한 전용 소프트웨어 Xpert (Win 7) 악세서리 - Universal Sample holder - Installation tools- 세라믹/금속의 V-groove 형상을 비롯한 다양한 형상의 나노스케일의 구조물 제작 ？나노임프린팅용 무마스크 비노광 마스터 제작 ？나노포토닉스 광부품의 직접 제작 또는 금형 제작 ？나노채널을 갖는 바이오칩용 실리콘 금형 제작 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201407/.thumb/2014072910565993.jpg |
| 장비위치주소 | 대전 유성구 장동 가정북로 156 (장동 171) 한국기계연구원 연구13동 1층 L107 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-07-190461 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0042848 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |