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장비 및 시설 기본정보
파티클오염검수장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Kla-tencor |
| 모델명 | Archer 10XT |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2005-01-01 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 나노종합기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | B703 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | - 기판 위에 Laser에 조사하여 산란되는 빛을 감지 분진 오염도를 측정 - Available Wafer Size: 6 8inch (flat and notch type) - Detection Method: Laser Scattering Dark Field Differential Interferometric Contrast Bright Field - Capture Rate & Sensitivity: ≥ 95% @102nm - Utility: AC208V 3Phase 60Hz Vaccum( 610~762mmHg) The SP-1 Classics is a specific system for measuring the particle contamination of Si Poly Oxide and Nitride films which are used to fabricate VLSI devices. General Information |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201108/.thumb/20110830100651.JPG |
| 장비위치주소 | 대전 유성구 어은동 대전 유성구 대학로 291 (어은동 53-3) 카이스트 부설 나노종합기술원 나노종합기술원 1층 FAB |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-12-049431 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0007718 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |