트랙시스템
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | TEL |
모델명 | TEL ACT-8 |
장비사양 | |
취득일자 | 2009-09-30 |
취득금액 |
보유기관명 | 나노종합기술원 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | C501 |
표준분류명 | 시험 |
시설장비 설명 | A Compact architecture allows MINI SPINNER to be configured for your process Available for photo resists and thick or thin film MEMS Gentle and precision Handling for processing of 4``~8`` Si GaAs wafer and various other Specialty Material |
장비이미지코드 | https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201902/2019021111392463.jpg |
장비위치주소 | 나노종합기술원 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2019-01-250425 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | https://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201901246837 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |