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장비 및 시설 기본정보
진공 챔버 정밀 분석 장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 엠에스테크 |
| 모델명 | MST-5000 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-02-23 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 광주과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C514 |
| 표준분류명 | 시험 |
| 시설장비 설명 | - 온도 가변 상태에서 반도체 계면의 Capacitance 및 전기적 특성 측정 - 반도체 표면의 average doping concentration/doping profile/carrier lifetime 등을 측정 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201102/20110223185540.jpg |
| 장비위치주소 | _ 정보통신공학부 A동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-02-144807 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0028829 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |