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장비 및 시설 기본정보
스캔프로파일러
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Kla-tencor |
| 모델명 | P2 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-03-02 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국전자통신연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | D100 |
| 표준분류명 | 계측 |
| 시설장비 설명 | 소자 제조시 박막을 패턴한 후의 박막 단차 평탄도 혹은 식각 후 식각 깊이를 측정하는데 사용되며 Scan speed는 약 1um~25mm/sec이고 Step height repeatability(1 sigma)는 약 1nm 성능을 가지며 식각 깊이 혹은 단차는 서브 마이크론에서부터 수 마이크론까지 측정할 수 있음. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201103/20110309181313.JPG |
| 장비위치주소 | 한국전자통신연구원 4동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-03-145062 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-ETRI-00068 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |