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열증착기 및 통합형 글로브박스

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보유기관명	울산과학기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C503
표준분류명	분석
시설장비 설명	본 장치는 유기물과 광전자소자를 제작하는 장치이다. 이런 유기물들은 수분과 산소에 매우 민감하게 반응하므로 완벽에 가까운 소자를 만들기위해서는 수분과 산소를 최대한 제거하고 고 진공 영역에서 제작 하여야한다. 본 장치는 이러한 조건을 만족하는 수분과 산소의 농도를 1ppm 이하로 유지시켜 주는 동시에 글로브 박스 내부에 장착된 진공 챔버를 고 진공으로 배기한 후 유기물을 증착 하게 된다. 위의 조건으로 완성된 소자를 글로브박스 안에 있는 특성평가 장치로 평가 후 포장하여 외부로 가지고 나옴으로써 완벽한 소자를 얻을 수 있는 최상의 장치 이다.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201310/20131008112744585.jpg
장비위치주소	UNIST 104동
NFEC 등록번호	NFEC-2013-01-174478
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0035304
첨부파일

기업조회