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3차원 미세 위치 정밀 제어기

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보유기관명	광주과학기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C311
표준분류명	분석
시설장비 설명	특징 3차원 나노 위치 제어 시스템. 구성및성능 나노 미터 단위의 3차원 위치 제어(나노미터 분해능의 위치 제어 및 정렬) 3 출 위치 제어 Closed-loop travel length : 200 μm(X축) 200 μm(Y축) 20 μm(Z축;수직 축) 이상 Closed/open-loop resolution : 2 nm 이하 (X Y축) 0.1 nm 이하(Z축) Close-loop travel : 300 × 300×300 um open-loop ** resolution : 1nm Dynamic operating current coefficient(DOCC) : 3.1 3.1 6.2 uA Unloaded resonant frequency (f0) : 120 120 240 kHz
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201101/20110117112616.JPG
장비위치주소	광주과학기술원 고등광기술연구소
NFEC 등록번호	NFEC-2007-12-053325
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0008168
첨부파일

기업조회