주사전자현미경(SEM)
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | Jeol |
모델명 | JSM-6380LV |
장비사양 | |
취득일자 | 2004-12-31 |
취득금액 |
보유기관명 | 경상대학교 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | A206 |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | 가속된 전자 beam을 시료 위에 주사시켜 시료로부터 튀어나온 2차 전자, 후방산란전자, 엑스선을 이용하여 scintillater에 검출된 2차 전자는 광전증배관으로 운반되어 여기서 신호가 증폭 된 후 다시 video amplifier에서 영상 신호 증폭을 거친 후 CRT에서 시료표면의 미세한 엑스선을 이용하여 마이크론 부분에 대한 성분 분석을 하게 된다.● Accelerating Voltage : 0.5~30㎸,Resolution : HV:3.0nm(30㎸),20nm(1kV), LV:4.0nm(30kV), ● Magnification : 8X~300,000X, ● Gun : W filament금속, 무기재료, 반도체, 섬유, 고분자. 천연재료, 생물체시료 등의 표면 미세 구조 및 조직의 파단면 관찰, 미세 집합조직 측정 회절기를 이용한 집합조직 측정 및 결정립계 특성 분석, 에너지 분산형 X선 분석기를 이용한 정성 및 정량분석 |
장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201412/.thumb/2014120914059273.jpg |
장비위치주소 | 경남 진주시 가좌동 경상대학교 900번지 경상대학교 공동실험실습관 2층 216 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2014-12-194637 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0047413 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |