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장비 및 시설 기본정보
서셉터 베이커
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 한국진공 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2005-04-08 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국광기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C503 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | ㅇ진공 Chamber 구성 - Chamber 크기 : 500(W)×500(D)×300(H)mm - Chamber 기능 : N2 분위기 형성을 위한 가스주입 port 강제냉각기구 부착 급속냉각 가능 - 도달 압력 : 1.0×10-7Torr 이하 - 작업진공도 : 1.0×10-5Torr/20min 이내 at 1000℃ ㅇ작동 panel 기능 - 진공 gauge : Pirani gauge (7.6×102～1×10-3torr) Penning 진공 gauge (1×10-3～1×10-8torr) - 온조계 과온계 turbo 조절기 touch screen A-meter ㅇ냉각수 - Door 외부 냉각 Jacket 설치 - Flow switch Pressure switch : 냉각양 냉각흐름 체크molybdenum 또는 SiC 코팅된 흑연 susceptor의 bake용 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110124165229.jpg |
| 장비위치주소 | 광주 북구 월출동 971-35 한국광기술원 실험동 1층 메인클린룸 Dry |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2010-12-120271 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0019497 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |