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장비 및 시설 기본정보
대면적 버퍼층 제조시험장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 엔트리 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-05-06 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | D104 |
| 표준분류명 | 기타 |
| 시설장비 설명 | (1) 본 장치는 Cu(InGa)(SeS)2 박막태양전지에서 버퍼층으로 활용되는 CdS Zn(O H)S등의 대면적 초박막소재를 비진공상태 에서 안전하게 증착할수 있는 시스템과 기본적인 Chemical 세정 및 에칭 시험을 할수 있는 장치로 구성되어 서로간에 연동 구성되어져 있음 (2) 특히 공정 중에 발생가능한 인체유해한 Fume에 대한 완전한 누설 차단을 통해 사용되는 전구체 시약과 케미칼류의 고신뢰성 및 고안정성을 기반으로 사용자 환경에서 편리하게 대면적 버퍼층을 제조할수 있음 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201306/20130620144828802.jpg |
| 장비위치주소 | 한국생산기술연구원 호남권 지역본부 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-06-180150 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-kitech-00324 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |