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장비 및 시설 기본정보
집속이온빔장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Fei |
| 모델명 | Quanta 3D FEG |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-03-09 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 울산과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A200 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 집속이온빔은 고분해능 전자이미지 이온이미지 나노소자제작 물질 증착 등 다양한 능력을 가지고 있다. 또한 동시에 나노스케일 패터닝 (에칭 증착)과 이미지 관찰이 가능하며 이온빔과 전자빔을 동시에 이용하여 고해상도의 단면관찰 및 TEM/3DAP 시편제작이 가능하다. Ultra high resolution electron imaging 초고분해능 전자 이미징 High resolution ion imaging 고분해능 이온 이미징 STEM imaging (BF DF HAADF) STEM 이미징 (BF DF HAADF) TEM 3DAP sample preparation TEM 3DAP 샘플 제작 Circuit correction (etching deposition) 회로수정 (에칭 증착) Energy dispersive spectroscopy (EDS) : element analysis Energy dispersive spectroscopy (EDS) : 원소 분석Electron optics : - NG Schottky field emission source - resolution (1) HV : 1.2 nm @ 30 kV - accelerating voltage : 200 V ~ 30 kV - probe current : up to 200 nA - magnification : 30 x ~ 1280 kx Ion optics : - field emission (Ga LMIS) - resolution : 7 nm @ 30 kV - accelerating voltage : 2 ~ 30 kV - probe current : 1 pA ~ 65 nA - magnification : 40 x ~ 1280 kx X Y 50 mm 5-axis motorized 2 gas injection systems (C Pt)？ Ultra high resolution electron, ion imaging ？ TEM sample preparation ？ Energy dispersive spectroscopy (EDS) ？ SE, BSE imaging |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201209/.thumb/20120927104227.JPG |
| 장비위치주소 | 울산광역시 울주군 언양읍 유니스트길 50 울산과학기술대학교 자연과학관 지하1층 108 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2012-09-170905 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0035087 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |