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장비 및 시설 기본정보
실험용진공펌프
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 서울베큠테크 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2005-01-28 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 충남대학교 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C522 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 로드락챔버를 경유하여 공정챔버로 웨이퍼가 투입되는 반도체소자 제조장치에 있어서 상기 로드락챔버에 필터링수단을 구비한 압력조절가스 공 급라인이 연결 구비된 것을 특징으로 한다. 따라서 로드락챔버에 대기하는 웨이퍼가 압력조절가스에 포함된 파티클에 의해서 오염되는 것을 방 지하여 반도체소자의 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다. 구성및성능 로드락챔버를 경유하여 공정챔버로 웨이퍼가 투입되는 반도체소자 제조장치에 있어서 상기 로드락챔버에 필터링수단을 구비한 압력조절가스 공 급라인이 연결 구비된 것을 특징으로 하는 로드락챔버를 구비한 반도체소자 제조장치활용분야 나노두께의 자성 다층 박막의 증착시 웨이퍼를 공정챔버로 투입하는 과정에서 압역 및 외부 파티클로 부터 보호하기위해 로드락 챔버를 통해 웨이퍼가 두입되게 된다. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/200712/.thumb/20071203120357.jpg |
| 장비위치주소 | 대전 유성구 궁동 충남대학교 220 충남대학교 산학연교육연구관 5층 507 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-12-048560 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0013639 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |