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면저항 측정장비

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보유기관명	한양대학교 ERICA캠퍼스
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	D102
표준분류명
시설장비 설명	4단자 측정기 ․Current Source - 10nA to 100mA - DVM 10mV to 1000mV - Accuracy: ± 0.15~ 1% ․자기진단용 standard resistor - 1m ohm ~ 100M ohm - Accuracy: ± 0.25~ 1%Recipe setting measurements and data processing with easy PC operation - Test patterns: user programmable (Shape: Round / Square) - Tester self-test function wide measuring range - 2 types measuring tester (S version: Standard type H version: High range resistivity measurement type) - Mapping software: Up to 1225 points (Option) - Thickness / Edge / Temperature correction for resistivity본 장비는 형성된 박막의 표면저항을 정밀하게 측정하여 박막의 전기적 물성(전기 전도성 저항율)을 정확히 측정하여 박막의 품질관리에 필수적으로 사용되는 장비이다. 4개의 탈침을 이용하여 면저항 측정 박막의 전도성및 저항율 측정
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201308/.thumb/2013082213520260.jpg
장비위치주소	경기 안산시 상록구 사3동 한양대학교 1271번지 한양대학교 안산캠퍼스 학연산클러스터지원센터 지하1층 106-2
NFEC 등록번호	NFEC-2011-01-134927
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0022623
첨부파일

기업조회