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장비 및 시설 기본정보
열증착소스
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 우진하이텍 |
| 모델명 | 개발장비 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2016-10-31 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 국가핵융합연구소 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C503 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | - 본 장비는 롤투롤 플렉서블 디스플레이의 금속막을 성막하기 위한 열증착기임. - 롤 필름 상에 Ag,Mg 등을 성막할 수 있으며 타 공정장비와 연결되어 있음 - 열 증착소스는 2개가 장착되어 있어 co-dep. 가능하며 용량은 130cc 임 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201611/2016112592418809.jpg |
| 장비위치주소 | 국가핵융합연구소 군산 플라즈마기술연구센터 본관동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2016-11-213109 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0062806 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |