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장비 및 시설 기본정보
스퍼터링 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 에스엔텍 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-03-29 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C503 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 일반적인 소규모 스퍼터링 장비와는 달리 대면적의 발열창호 및 변색창호를 위한 준 파일럿형태의 대면적 투명전극제조를 위해 사용되며 실험실용 소규모장비에서는 불가능한 디바이스제작이 가능하다.또한 Target교환을 통한 금속 및 금속산화물을 증착하여 대면적 태양전지용 투명전극제조에도 활용가능하다. 연구에서의 다양한 재료를 이용한 표면활성화 실험에 응용이 가능 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201305/20130515163816791.JPG |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 연구동(L5) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-05-178931 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0038676 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |